新品来袭 | 深视智能SRI9022三维激光轮廓测量仪高精度 · 高分辨率 · 高采样

Z轴重复精度达到 0.1μm，线性度±0.03%F.S.，对于 PIN 针高度检测、晶圆表面缺陷识别这类精密场景，都能清晰呈现在3D视觉检测画面中，如同为产线装上了一双“微米眼”，为精密工件的在线检测提供稳定的视觉图像。

X轴方向轮廓点数高达6400点，轮廓数据间隔仅2μm。以3D点云图可呈现细腻的物体表面形貌，对于精密工件表面的划痕、高度差、体积测量，有着检测/观测优势，细小特征在高分辨率下清晰可见。

扫描速度可在620Hz~13000Hz之间配置。高速产线可用高采样率匹配，或根据检测精度调控节拍，扫描快慢由产线实际需求灵活调配，效率与质量都可兼顾。

温度特性为0.01% F.S./℃，常见工业温度波动下测量漂移极小，无需频繁校准。IP67防护等级直面潮湿、粉尘等恶劣工况，持续在线运行。

支持差分编码器（触发）和24V开始信号输入，配备千兆以太网接口，易于集成到自动化产线及运动控制系统中。