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30mm工作距离下测量范围±5mm,88kHz高频采样,重复精度达0.05μm,具有Φ60μm小光点型光斑
30mm工作距离下测量范围±5mm,88kHz高频采样,重复精度达0.05μm,具有60*400μm宽光点光斑
80mm工作距离下测量范围为-17~15mm,88kHz高频采样,重复精度达0.2μm,拥有Φ110μm小光斑
80mm工作距离下测量范围-17~15mm,88kHz高频采样,重复精度达0.2,拥有110*720μm宽光点光斑
150mm工作距离下测量范围为-47~35mm,88kHz高频采样,重复精度达0.5μm,具有Φ190μm小光斑
150mm工作距离下测量范围为-47~35mm,88kHz高频采样,重复精度达0.5μm,具有190*1300μm宽光斑
20mm工作距离下测量范围为±3mm,590kHz高频采样,重复精度达0.02μm,具有Φ45μm小光斑
20mm工作距离下测量范围为±3mm,590kHz高频采样,重复精度达0.02μm,具有45*400μm宽光斑
50mm工作距离下测量范围为'-9mm~8mm,590kHz高频采样,重复精度达0.025μm,具有Φ75μm小光斑
50mm工作距离下测量范围为-9~8mm,590kHz高频采样,重复精度达0.025μm,具有75*400μm宽光斑
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