石英坩埚内壁厚度测量

在单晶硅拉直过程中，石英坩埚需要在1400℃高温下承载熔融硅超50小时。然而，随着温度升高，硅液接触的坩埚内表面不断溶解，导致壁厚减薄，在较薄的地方，坩埚可能发生变形并影响硅液温度场均匀性，甚至引发漏硅现象。因此，石英坩埚内壁厚度对单晶硅生产效率至关重要。

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参考文献：

[1]贾倩倩,张渤,赵谦,等.基于深度学习的石英坩埚厚度测量方法[J].激光杂志,2024,45(12):58-66.DOI:10.14016/j.cnki.jgzz.2024.12.058.