SCI03560 光谱共焦位移传感器
产品介绍
光斑大小：5.8μm/12.2μm
工作距离：12.8mm
直线性：±0.7μm
角度特性：±60°
最小可测量透明物体厚度：150μm
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技术规格
| 参数/型号 | SCI03560 | |
| 控制器 | SCI501A/SCI502A/SCI501B/SCI502B | |
| 夹具型号 | SCI-02 | |
| 光斑大小 | 5.8μm | 12.2μm |
| 工作距离 | 12.8mm | |
| 测量范围 | 3.5mm | |
| 分辨率 | 0.006μm | |
| 直线性 | ±0.7μm | |
| 角度特性 | ±60° | |
| 最小可测量透明物体厚度 | 150μm | |
| 直径 | 83mm | |
| 长度 | 229mm | |
| 重量 | 2300g | |