晶元抓取工艺观测难点
动作捕捉难:常规观测设备无法精准捕捉机械臂毫秒级的运动细节。
损伤难溯源:晶元抓取后易出现隐性崩缺,难以关联振动源。
工艺优化慢:缺乏全局运动轨迹与姿态参数,机械系统调优依赖经验试错。
深视智能的“解题思路”
面对晶元抓取过程 “快、精、微” 的特点,深视智能提出基于高速摄像技术的晶元抓取工艺优化方案:
01 毫秒级动态解析
精灵系列高速摄像机(型号:SH2-203)以2000fps高帧率,将机械臂吸盘取放晶元的过程拆解成连贯的慢动作序列,工程师通过对高速视频的逐帧分析,可直观发现传统方式难以察觉的动态问题。
02 高清画质清晰呈现
精灵系列高速摄像机以1920x1080高清分辨率,清晰记录吸盘接触形变、机械臂振幅及定位偏差等微观特征,助力工程师清晰观察晶元与吸盘接触时的形变、晶元离地时的微小振动、传输过程中的姿态稳定性等关键细节。
03 数据驱动工艺升级
借助配套运动分析软件,工程师可进一步提取位移、速度、加速度等动态数据,为运动控制算法的迭代和机械系统的协同调优提供有力的数据支撑,进而提升半导体制造设备运行稳定性与生产效率。
应用价值

01 突破产线部署限制
深视智能精灵系列高速摄像机以72×72×89mm小巧体积和680g轻量化设计,可轻松嵌入设备密的集产线,贴近机械臂核心动作区架设,捕捉晶元抓取、放置等关键动作。
02 适配多场景观测需求
精灵系列高速摄像机具备出色的环境适应性:高效散热系统确保控温环境下稳定运行;IP64级全密封防护及抗振动设计有效抵御低尘与高强度振动;全信号隔离与EMI抑制技术保障在高压、强磁干扰下可靠工作。
03 大容量非易失存储
精灵系列高速摄像机采用非易失性存储介质,断电数据不丢失,大容量数据无需导出,配套软件可对内部存储进行可视化管理。
深视智能高速相机推荐

深视智能精灵系列高速摄像机以1920x1080高清分辨率,清晰记录吸盘接触形变、机械臂振幅及定位偏差等微观细节,帮助工程师精准定位半导体生产设备工艺薄弱环节,为运动控制逻辑优化、机械结构调校提供可视化数据依据。
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