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SR9061

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SR9000系列3D轮廓测量仪 测量精度高达1μm X方向6400点 X方向分辨率3μm 关键指标超过国际领先水平 广泛应用在3C产业、新能源动力电池行业、机械加工工序检测、电工电气检测等领域。

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型号 SR9061
参考距离(CD) 60mm
Z轴高度(FS) 14.5mm
X轴宽度 近端 25mm
参考距离 27mm
远端 30mm
光源 405nm蓝光
Z轴线性度 ±0.02%的F.S.
Z轴重复精度 0.2μm
X轴重复精度 1.2μm
X轴数据间隔 5μm
X轴轮廓点数 6400
扫描速度(Hz) 1500-13000
外壳防护等级 IP67,符合IEC60529标准