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SH6系列
SC03560
光斑大小:5.8μm/12.2μm;测量范围:3.5mm;角度特性:±60°;数值孔径:0.866;工作距离:12.8mm;轴向分辨率:0.006μm;直线性:±0.01%的F.S.;最小可测量透明物体厚度:150μm
SC04025
光斑大小:12μm/25.2μm;测量范围:4mm;角度特性:±25°;数值孔径:0.423;工作距离:16mm;轴向分辨率:0.006μm;直线性:±0.01%的F.S.;最小可测量透明物体厚度:130μm
SC10015
光斑大小:19.2μm/40.3μm;测量范围:10mm;角度特性:±15°;数值孔径:0.26;工作距离:40mm;轴向分辨率:0.012μm;直线性:±0.01%的F.S.;最小可测量透明物体厚度:300μm
SC01045
光斑大小:7.1μm/14.9μm;测量范围:1mm;角度特性:±45°;数值孔径:0.707;工作距离:10mm;轴向分辨率:0.006μm;直线性:±0.01%的F.S.;最小可测量透明物体厚度:30μm