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光谱共焦的干涉测量原理及厚度测量模式
2021-09-15
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光谱共焦位移传感器通过彩色激源发出高密度分光，通过色散透镜在范围内发出不一样波度的单色，每个波度对应距离值，检测光线反射 到物体表面。只有满足共焦条件的光才能通过小洞被光谱探测到。计算检测到焦点的波度，转换得到的距离值。今天，小编介绍了光谱共焦干涉检测原理和厚度检测模型。
干涉检测基于白光干涉图(SAWLI)的频谱分析。这是光谱共焦传感器等光学传感检测仪器必须涉及的概念。
这包括分析谱仪观测到的干涉信号，以检测基准板和样品之间的空气间隙厚度。先进系统的独创性在于将参考板固定在检查目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动对检测结果没有影响。
另外，这个传感器太薄，可以用来检测不能使用颜色共聚点技术的透明胶片。较小可检测厚度为0.4m。
光谱共焦检测技术分析特定表面上不一样波度的聚点位置，以实现精确的尺寸检测和微观形态分析。根据该检测原理，特定波度的可以聚点在样品的前面，而对于透明材料样品，两种不一样波度的可以聚点在样品的前面和后面。这是光谱共焦点提供的两种检测模式(位移检测模式、厚度检测模式)。
厚度检测模式：
检测玻璃、透镜等透明样品时，波度不一样的两条线可以聚点在样品的前后表面，获得样品折射系数参数后计算样品的厚度值。共焦检测较大，与卡尺等传统接触检测工具相比，具有所有非接触检测的优点，也具有通过单侧检测获得样品厚度值的特性。
折射系数直接影响厚度检测的数据精度，因此在检测开始时应先检查样品的返射率。返射率可以参考相似材质的数值，但为了获得更精确的厚度检测结果，必须使用返射率计检测样品的返射率。
光谱共焦，频谱球焦点的两种检测模式可以在软件界面上自由切换，而无需重新启动设备或系统。因此，光谱共焦检测技术既可以检测样品表面尺寸，也可以检测透明材料厚度，或者同时获得透明样品的外观尺寸和厚度信息。
基于光谱共焦的厚度检测仪：
可以通过实施2轴厚度扫描并实时记录厚度值来生成3D图形。
使用非接触检测，磨损不会影响准确度。
用羊头检测厚度时，不受检测物体上下晃动的影响。
所有数字系统，操作方便，有自己的校准功能。
检测对象包括金属板、玻璃、薄膜、纸、金属箔等。
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