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具体介绍一下平面度测量的方法

2021-09-15

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  平面度丈量是长度计量技能中对平面度差错的丈量。长度计量技能中对平面度差错的丈量。平面是由直线组成的,因此直线度丈量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于丈量平面度差错。

 

      丈量平面度时,先测出若干截面的直线度,再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)使用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度差错。也有使用光波干与法平和板涂色法丈量平面差错的。

  光波干与法常使用平晶进行,图1为丈量所得的不同干与条纹。图1 a的干与条纹是直的,并且间距相等,只在周边上稍有曲折。这说明被查验外表是平的,但与光学平晶不平行,并且在圆周部分有微小的偏差。

  干与条纹曲折并且间隔不相等,标明被查验外表是球形的,平晶有微小倾斜。条纹曲折度约为条纹间距的1.5倍,表明平面度差错为1.5×0.3μm=0.45μm.图1c的干与条纹呈圆形,相同标明被查验外表是球形外表。将条纹数目乘以所用光束波长的一半,即得所求的平面差错为1.5×0.3μm=0.45μm.